Аннотация:
Исследован процесс МОС-гидридной эпитаксии квантовых точек InP/GaInP на “дефектах” подложки (GaAs), сформированных сфокусированным пучком ионов Ga$^+$. Показано, что в системе InP/GaInP могут быть получены упорядоченные массивы квантовых точек с плотностью 0.25 мкм$^{-2}$. Показано, что эффективная люминесценция может быть получена при использовании двух слоев квантовых точек, разделенных буфером GaAs/GaInP.
Поступила в редакцию: 18.11.2014 Принята в печать: 27.11.2014