Эта публикация цитируется в 7 статьях

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Анизотропный шейпинг макропористого кремния

Е. В. Астрова, А. В. Парфеньева, Г. В. Ли, Ю. А. Жарова

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Рассмотрены различные высокоаспектные структуры, которые изготавливаются из макропористого кремния с упорядоченной решеткой путем дополнительной обработки в анизотропных травителях. Определены условия и особенности получения структур со стенками, образованными одним типом медленно травящихся плоскостей: (110) или (100), и зависимость их пористости и удельной внутренней поверхности от толщины стенок. Экспериментально демонстрируются структуры в виде зигзага, сетки и столбиков, изготовленные на основе макропористого кремния с помощью анизотропной обработки в водных растворах KOH.

Поступила в редакцию: 23.07.2014
Принята в печать: 15.09.2014

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2015, 49:4, 551–558

Реферативные базы данных:

•