Физика полупроводниковых приборов

Микродисковые лазеры с вынесенной контактной площадкой мостиковой конструкции, сформированные жидкостным химическим травлением

А. А. Образцова^a, А. А. Пивоварова^b, С. Д. Комаров^a, И. С. Федосов^a, К. А. Иванов^a, Н. А. Калюжный^b, С. А. Минтаиров^b, Н. Д. Ильинская^b, Ю. П. Яковлев^b, И. С. Махов^a, Н. В. Крыжановская^a, А. Е. Жуков<sup>a

a</sup> Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики» (Санкт-Петербургский филиал), 190121 Санкт-Петербург, Россия
^b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Представлен подход к созданию микролазеров с квантовыми точками на подложках GaAs с дисковым резонатором, электрическим контактом мостикового типа и опорной мезой, сформированными методом жидкостного химического травления. Мостиковая конструкция представляет собой две соединенные подвешенной золотой балкой мезаструктуры, одна из которых является, собственно, микродисковым резонатором, а вторая служит для создания вынесенного электрического контакта. Предложенный метод открывает пути для изготовления инжекционных микролазеров малого диаметра, поскольку исключает необходимость прикрепления электрического провода к верхней поверхности резонатора микролазера. Изготовлены микролазеры с мостиковым контактом, продемонстрировано формирование близкой к вертикальной стенки микрорезонатора вблизи активной области структуры, получены спектры электролюминесценции микролазеров в широком интервале токов накачки, подтверждающие возможность лазерной генерации как при комнатной, так и при повышенных температурах.

Поступила в редакцию: 03.02.2025
Исправленный вариант: 10.04.2025
Принята в печать: 17.04.2025

DOI: 10.61011/FTP.2025.01.60498.7587