RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2022, том 56, выпуск 12, страницы 1112–1119 (Mi phts7155)

Эта публикация цитируется в 3 статьях

Поверхность, границы раздела, тонкие пленки

Получение и свойства мезопористых пленок MoS$_2$

А. Б. Логиновa, С. Н. Боковаbc, П. В. Федотовbc, И. В. Сапковa, Д. Н. Хмеленинd, Р. Р. Исмагиловa, Е. Д. Образцоваbc, Б. А. Логиновe, А. Н. Образцовa

a Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, 119991 Москва, Россия
b Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, 119991 Москва, Россия
c Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), 141701 Московская область, Долгопрудный, Россия
d Федеральный научно-исследовательский центр «Кристаллография и фотоника» Российской академии наук, 119333 Москва, Россия
e Национальный исследовательский университет "МИЭТ", 124498 Москва, Россия

Аннотация: Дисульфид молибдена (MoS$_2$) относится к кристаллическим материалам, привлекающим значительное внимание исследователей благодаря ярко выраженному двумерному характеру его электронных свойств. Для получения MoS$_2$ в качестве прекурсоров использовались термически распыляемый молибден и газообразный сероводород, в результате реакции которых на поверхности кремниевой подложки формировалась пленка, состоящая из пластинчатых кристаллитов нанометровой толщины, образованных параллельно расположенными атомными слоями, имеющими преимущественную ориентацию вдоль нормали к поверхности подложки. Исследована зависимость морфологии пленок от длительности процесса осаждения, температуры подложки и концентрации прекурсоров в газообразной фазе. Изучение структурно-морфологических свойств и состава получаемых пленок с помощью методов электронной микроскопии и комбинационного рассеяния света выявило наличие монослойного и бислойного МоS$_2$. Проведенный анализ показывает зависимость фотолюминесцентных свойств полученных мезопористых пленок от размеров составляющих их кристаллитов.

Ключевые слова: двумерные материалы, дихалькогениды переходных металлов, флейки, монослои, мезопористые пленки.

Поступила в редакцию: 23.09.2022
Исправленный вариант: 14.11.2022
Принята в печать: 09.12.2022

DOI: 10.21883/FTP.2022.12.54509.4129



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026