Эта публикация цитируется в 1 статье

Неэлектронные свойства полупроводников (атомная структура, диффузия)

Растворимость магния в кремнии

В. Б. Шуман^a, А. А. Лаврентьев^a, А. А. Яковлева^a, N. V. Abrosimov^b, А. Н. Лодыгин^a, Л. М. Порцель^a, Ю. А. Астров<sup>a

a</sup> Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^b Leibniz-Institut für Kristallzüchtung, 12489 Berlin, Germany

Аннотация: Методом масс-спектроскопии вторичных ионов исследована растворимость в кремнии примеси магния, введенного путем диффузии в интервале температур 1100–1300$^\circ$С. Показано, что с учетом электрически неактивной компоненты примеси максимальная растворимость магния в кремнии на 1–2 порядка меньше, а коэффициент диффузии выше, чем опубликованные ранее данные.

Ключевые слова: кремний, легирование, примесь магния, растворимость.

Поступила в редакцию: 12.05.2022
Исправленный вариант: 22.06.2022
Принята в печать: 27.06.2022

DOI: 10.21883/FTP.2022.09.53405.9883

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2023, 57:10, 465–468

Реферативные базы данных:

•