Эффект дальнодействия при ионном облучении «бескислородного» кремния

Е. И. Зорин, Н. В. Лисенкова, П. В. Павлов, Е. А. Питиримова, Д. И. Тетельбаум


Аннотация: Исследовано изменение удельного сопротивления «бескислородного» высокоомного кремния на глубинах, существенно превосходящих пробег ионов, при облучении ионами средних энергий. Показано, что наблюдаемый рост сопротивления (по крайней мере частично) связан с выравниванием неоднородности распределения исходного удельного сопротивления. На основании полученных и ранее опубликованных данных сделан вывод о том, что эффект связан с диффузией собственных междоузельных атомов (СМА).
Установлено уменьшение дифференциального сопротивления $p{-}i{-}n$-структур, изготовленных на облученных образцах. Трансмиссионная электронная микроскопия выявила «залечивание» дефектов, связанных с механической обработкой поверхности, при облучении с противоположной стороны образца. С использованием этих данных оценены диффузионная длина СМА и величина барьера захвата СМА примесными атомами.