Эта публикация цитируется в 1 статье

XXVI Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника" , Нижний Новгород, 14-17 марта 2022г.

Влияние химической пассивации поверхности GaAs(001) на анизотропию и ориентацию образующихся на ней нанокластеров золота и их плазмонов

В. Л. Берковиц^a, В. А. Кособукин^a, В. П. Улин^a, П. А. Алексеев^a, Ф. Ю. Солдатенков^a, В. А. Левицкий<sup>b

a</sup> Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^b НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике, 194021 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Обсуждается принципиальная роль химической пассивации поверхности GaAs в формировании на ней анизотропных ориентированных нанокластеров золота. Нанокластеры создаются методом термического отжига пленки Au, нанесенной на поверхность GaAs(001), которая предварительно пассивируется монослоем атомов азота или серы. Эти атомы, валентно связанные с атомами галлия поверхности кристалла и образующие кристаллическую решетку, предотвращают химическое взаимодействие Au с GaAs. В результате отжига на пассивированных поверхностях GaAs(001) образуются массивы анизотропных (вытянутых) нанокластеров химически чистого Au, которые ориентированы преимущественно в направлении $[1\bar10]$ кристалла. Наличие сильной анизотропии и ориентации кластеров Au на пассивированных поверхностях GaAs установлено методами зондовой диагностики и оптическими методами дифференциальной спектроскопии анизотропного отражения и спектроскопии отражения поляризованного света. На основе оптической модели плазмонной поляризуемости вытянутых сфероидов Au показано, что резонансные спектральные особенности, которые наблюдаются в поляризованном отражении, обусловлены анизотропными плазмонами кластеров Au, поляризованными преимущественно в направлении $[1\bar10]$ кристалла.

Ключевые слова: поверхность полупроводника, нитридная пассивация, нанокластеры золота, анизотропные плазмоны, поляризованное отражение.

Поступила в редакцию: 02.03.2022
Исправленный вариант: 25.03.2022
Принята в печать: 25.03.2022

DOI: 10.21883/FTP.2022.07.52746.01

Реферативные базы данных:

•