RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2022, том 56, выпуск 6, страницы 534–540 (Mi phts7053)

Эта публикация цитируется в 1 статье

Спектроскопия, взаимодействие с излучениями

Фазовые превращения в композитных пленках системы Se-Cu, полученных взрывной кристаллизацией и термическим отжигом

В. Я. Когай, Т. Н. Могилева, А. Е. Фатеев, Г. М. Михеев

Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения Российской академии наук, 426067 Ижевск, Россия

Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований фазового превращения в композитных пленках системы Se-Cu, полученных в вакууме в процессе последовательного термического осаждения селена и меди на стеклянную подложку. При фиксированной толщине слоя селена (45 нм) исследовалось влияние толщины слоя меди (40–115 нм) на фазовый состав синтезированных пленок, формируемых в процессе взрывной кристаллизации, происходящей при взаимодействии горячих кластеров меди с легкоплавким селеном. Установлено, что последующий термический отжиг синтезированных пленок сопровождается существенным изменением их фазового состава и спектров оптического пропускания.

Ключевые слова: фазовые превращения, композитные пленки системы Se-Cu, взрывная кристаллизация, термический отжиг, оптические свойства.

Поступила в редакцию: 19.01.2022
Исправленный вариант: 14.02.2022
Принята в печать: 14.02.2022

DOI: 10.21883/FTP.2022.06.52615.9802



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026