Эта публикация цитируется в 7 статьях

XVII Межгосударственная конференция ''Термоэлектрики и их применения -- 2021" (ISCTA 2021 Санкт-Петербург, 13-16 сентября, 2021)

Методики исследования электрического контактного сопротивления в структуре металлическая пленка–полупроводник

М. Ю. Штерн^a, И. С. Караваев^b, М. С. Рогачев^a, Ю. И. Штерн^a, Б. Р. Мустафоев^a, Е. П. Корчагин^a, А. О. Козлов<sup>a

a</sup> Национальный исследовательский университет "МИЭТ", 124498 Москва, Зеленоград, Россия
^b АО "Чепецкий механический завод", 427622 Глазов, Россия

Аннотация: В термоэлементах электрическое сопротивление контактов существенным образом влияет на их эффективность. В случае высоколегированных термоэлектрических материалов на границе контакта металл-полупроводник преобладает туннельный механизм проводимости, что позволяет получать сопротивление контакта $<$10$^{-8}$ Ом$\cdot$м$^2$. Низкие значения сопротивления существенно усложняют его экспериментальное определение. Представлены три методики и измерительный стенд для исследования контактного сопротивления. Основу методик составляет измерение суммарного электрического сопротивления, состоящего из переходного контактного сопротивления и сопротивления термоэлектрического материала с последующим его исключением. Разработанные методики отличаются расположением исследуемых контактов на образцах термоэлектрических материалов, способами измерений и обработки полученных результатов и позволяют определять удельное контактное сопротивление $\sim$10$^{-10}$ Ом$\cdot$м$^2$.

Ключевые слова: термоэлементы, пленочные контакты, контактное сопротивление, методики измерений.

Поступила в редакцию: 19.09.2021
Исправленный вариант: 24.09.2021
Принята в печать: 24.09.2021

DOI: 10.21883/FTP.2022.01.51808.24

Реферативные базы данных:

•