XXVII Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 13 - 16 марта 2023г.

Формирование биосовместимых SiC-нанотрубок “сверху-вниз”

А. Д. Буравлев^abcd, А. Н. Казакин^e, Ю. А. Нащекина^cf, А. В. Нащекин^c, Е. В. Убыйвовк^gch, В. А. Астраханцева^a, А. В. Осипов^h, Г. В. Святецⁱ, С. А. Кукушкин<sup>h

a</sup> Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), 197022 Санкт-Петербург, Россия
^b Университет при межпарламентской ассамблее ЕврАзЭС, 194044 Санкт-Петербург, Россия
^c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^d Институт аналитического приборостроения РАН, 198095 Санкт-Петербург, Россия
^e Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^f Институт цитологии Российской академии наук, 194064 Санкт-Петербург, Россия
^g Санкт-Петербургский государственный университет, 199034 Санкт-Петербург, Россия
^h Институт проблем машиноведения РАН, 199178 Санкт-Петербург, Россия
ⁱ OOO "Научно-технический центр "Новые технологии", 195027 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: При проведении экспериментов по синтезу слоев карбида кремния на монокристаллических подложках кремния с помощью метода согласованного замещения атомов обнаружено, что образование тонких пленок карбида кремния может сопровождаться формированием массивов нанотрубок карбида кремния произрастающих в глубь кремниевых подложек. Таким образом, впервые обнаружен новый механизм образования карбид-кремниевых нанотрубок – “сверху-вниз”.

Ключевые слова: карбид кремния, нанотрубки, пар-жидкость-кристалл, формирование наноструктур.

Поступила в редакцию: 05.05.2023
Исправленный вариант: 29.06.2023
Принята в печать: 06.07.2023

DOI: 10.21883/FTP.2023.05.56201.28k

Реферативные базы данных:

•