XXVII Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 13 - 16 марта 2023г.

Плазмохимическое осаждение гидрогенизованных пленок DLC с различным содержанием водорода и $sp^3$-гибридного углерода

А. И. Охапкин^a, М. Н. Дроздов^a, П. А. Юнин^a, С. А. Краев^a, Д. Б. Радищев<sup>b

a</sup> Институт физики микроструктур РАН, 607680 Нижний Новгород, Россия
^b Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук, 603950 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Исследовано влияние параметров плазмы метана на скорость осаждения и содержание водорода и $sp^3$-гибридной фракции углерода в гидрогенизованных пленках алмазоподобного углерода, diamond-like carbon. Показано, что содержание $sp^3$-фракции углерода главным образом зависит от индуктивной мощности и добавки аргона в состав плазмы; последнее также способствует уменьшению доли водорода в пленках.

Ключевые слова: алмазоподобный углерод, плазмохимическое осаждение, $sp^2$-, $sp^3$-гибридизация, рамановская спектроскопия, вторично-ионная масс-спектрометрия.

Поступила в редакцию: 05.05.2023
Исправленный вариант: 29.06.2023
Принята в печать: 06.07.2023

DOI: 10.21883/FTP.2023.05.56195.09k

Реферативные базы данных:

•