Эта публикация цитируется в 1 статье

Спектроскопия, взаимодействие с излучениями

Температурная зависимость дислокационной электролюминесценции в кремниевых светодиодах с кислородными преципитатами

Н. А. Соболев, А. Е. Калядин, К. Ф. Штельмах, П. Н. Аруев, В. В. Забродский, Е. И. Шек

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Исследована электролюминесценция кремниевых светодиодов, сформированных с участием кислородных преципитатов, при температурах 40–300 K. Имплантация ионов кислорода и многостадийные отжиги использовались при изготовлении светодиодов. Во всем диапазоне температур спектры хорошо аппроксимируются одной лоренцевой и четырьмя гауссовыми кривыми. В спектрах присутствуют линии дислокационной люминесценции D1–D4 (кривой Лоренца описывается линия D1) и кислородных преципитатов (ОР). Положения максимумов линий D1, ОР и D2 с изменением температуры измерения совпадают с температурной зависимостью ширины запрещенной зоны кремния, уменьшенной на значения 356, 330 и 303 мэВ соответственно. На температурных зависимостях интенсивностей электролюминесценции линий D1, ОР и D2 наблюдаются участки возгорания и гашения, определены энергии активации этих процессов, и обсуждаются причины их появления.

Ключевые слова: светодиоды, дислокационная люминесценция, кремний, кислородные преципитаты.

Поступила в редакцию: 07.04.2023
Исправленный вариант: 31.05.2023
Принята в печать: 06.06.2023

DOI: 10.21883/FTP.2023.04.55900.4810

Реферативные базы данных:

•