Аннотация:
Экспериментальные температурные зависимости сопротивлений, близких к порогу фазового перехода в состояние с металлической проводимостью тонких (1–3 нм) сильно легированных бором $\delta$-слоев в химически осажденном из газовой фазы алмазе в широком диапазоне температур от $\sim$100 до $\sim$500 K, можно описать двумерным законом Мотта (“перескоки” дырок между локализованными состояниями с зависящей от температуры средней длиной “прыжка”) в области низких температур и законом Аррениуса (“перескоки” дырок между ближайшими локализованными состояниями) в области высоких температур. Переход между ними происходит при 230–300 K. Потенциалы локализованных состояний дырок – дальнодействующие, например кулоновские, а статические диэлектрические проницаемости $\delta$-слоев в несколько раз больше, чем у нелегированного химически осажденного из газовой фазы алмаза.
Ключевые слова:
CVD-алмаз, закон Аррениуса, закон Мотта, легированные $\delta$-слои, “прыжковая” проводимость, фазовый переход изолятор-металл.
Поступила в редакцию: 05.05.2023 Исправленный вариант: 19.06.2023 Принята в печать: 20.06.2023