RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2023, том 57, выпуск 4, страницы 259–264 (Mi phts6866)

XXVII Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 13 - 16 марта 2023г.

Переход между законами Мотта и Аррениуса в температурных зависимостях сопротивлений сильно легированных бором дельта-слоев в искусственном алмазе

В. А. Кукушкинab, М. А. Лобаевa, А. Л. Вихаревa, А. М. Горбачевab, Д. Б. Радищевa, Е. А. Архиповаa, М. Н. Дроздовa, Ю. В. Кукушкинb, В. А. Исаевa, С. А. Богдановa

a Институт прикладной физики Российской академии наук, 603950 Нижний Новгород, Россия
b Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, 603022 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Экспериментальные температурные зависимости сопротивлений, близких к порогу фазового перехода в состояние с металлической проводимостью тонких (1–3 нм) сильно легированных бором $\delta$-слоев в химически осажденном из газовой фазы алмазе в широком диапазоне температур от $\sim$100 до $\sim$500 K, можно описать двумерным законом Мотта (“перескоки” дырок между локализованными состояниями с зависящей от температуры средней длиной “прыжка”) в области низких температур и законом Аррениуса (“перескоки” дырок между ближайшими локализованными состояниями) в области высоких температур. Переход между ними происходит при 230–300 K. Потенциалы локализованных состояний дырок – дальнодействующие, например кулоновские, а статические диэлектрические проницаемости $\delta$-слоев в несколько раз больше, чем у нелегированного химически осажденного из газовой фазы алмаза.

Ключевые слова: CVD-алмаз, закон Аррениуса, закон Мотта, легированные $\delta$-слои, “прыжковая” проводимость, фазовый переход изолятор-металл.

Поступила в редакцию: 05.05.2023
Исправленный вариант: 19.06.2023
Принята в печать: 20.06.2023

DOI: 10.21883/FTP.2023.04.55895.10k



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026