Международная конференция ФизикА.СПб/2024, 21-25 октября 2024 г., Санкт-Петербург

Особенности лазерной абляции пористого кремния в воздухе

Е. И. Маврешко^ab, А. А. Фроня^ab, Г. В. Тихоновский^a, М. С. Григорьева^ab, И. Н. Завестовская<sup>abc

a</sup> Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", 115409 Москва, Россия
^b Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, 119991 ГСП-1, Москва, Россия
^c Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", 123182 Москва, Россия

Аннотация: Представлены результаты экспериментального изучения порогов абляции монокристаллического и пористого 77 и 96% кремния. Изучена морфология образцов после воздействия фемтосекундного лазерного излучения с энергией в импульсе 1–10 мкДж. Получены зависимости размера следа воздействия от вложенной лазерной энергии, определены пороги лазерной абляции. Установлено, что при высокой пористости размер области абляции растет быстрее с увеличением энергии, чем для монокристаллического кремния и кремния более низкой пористости.

Ключевые слова: лазерная абляция, пористый кремний, порог абляции.

Поступила в редакцию: 03.05.2024
Исправленный вариант: 23.08.2024
Принята в печать: 30.10.2024

DOI: 10.61011/FTP.2024.10.59375.6565A

Реферативные базы данных:

•