Международная конференция ФизикА.СПб/2024, 21-25 октября 2024 г., Санкт-Петербург

Трансформация кольцевой зоны на основе алюминия при ее термомиграции в кремнии в направлении $\langle$100$\rangle$

Б. М. Середин, В. П. Попов, А. В. Малибашев, А. Д. Степченко

Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) им. М.И. Платова, 346428 Новочеркасск, Россия

Аннотация: Непересекающиеся кольцевые зоны на основе алюминия позволяют формировать методом термомиграции в пластине кремния систему сквозных замкнутых эпитаксиальных каналов $p$-типа проводимости с высокой воспроизводимостью. Обычно используемая для этих целей сетка прямолинейных зон характеризуется разрывами в местах пересечений. Экспериментально выявлены особенности трансформации кольцевых зон на различных этапах миграции в кремнии в направлении $\langle$100$\rangle$. Наблюдаемые изменения формы зон и эпитаксиальных каналов вызваны асимметрией фронта растворения жидкой зоны, связанной с особенностями огранки, обусловленной изгибом линейной зоны. При этом подавляется огранка на внутреннем контуре зоны и сохраняется на внешнем.

Ключевые слова: термомиграция, градиент температуры, кремний.

Поступила в редакцию: 26.04.2024
Исправленный вариант: 20.07.2024
Принята в печать: 30.10.2024

DOI: 10.61011/FTP.2024.09.59308.6414A

Реферативные базы данных:

•