Аннотация:
Предложен метод определения растворимости магния (Mg) в кремнии с содержанием кислорода больше чем 3 $\cdot$ 10$^{17}$ см$^{-3}$. Метод основан на измерении интенсивности полосы поглощения 1106 см$^{-1}$ кислорода (O) при длительном диффузионном отжиге кремния. В результате образования оптически неактивного комплекса MgO поглощение и концентрация O уменьшаются. Разница между концентрацией O до и после диффузии соответствует концентрации Mg в кристалле. Определено значение растворимости Mg в бездислокационном Si при температуре 1250$^{\circ}$C, равное (2.5 $\pm$ 0.19) $\cdot$ 10$^{17}$ см$^{-3}$. Эта величина совпадает с результатом, полученным ранее методом вторичной ионной масс-спектрометрии в бескислородном Si.
Полный текст:
PDF файл (109 kB)