Эта публикация цитируется в 2 статьях

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Влияние температуры осаждения на структуру и оптические свойства пленок селенида цинка, полученных ВЧ магнетронным распылением

В. Ф. Кобзиев, Р. М. Закирова, Н. В. Костенков, П. Н. Крылов, И. В. Федотова

Удмуртский государственный университет, г. Ижевск

Аннотация: Исследовано влияние температуры конденсации на скорость роста, структуру и оптические свойства полученных ВЧ магнетронным распылением пленок селенида цинка. С увеличением температуры осаждения толщина пленок уменьшается. Поликристаллические пленки селенида цинка состоят из смеси кубической и гексагональной фаз с преобладанием кубической фазы. Показана корреляция величины показателя преломления и размеров кристаллитов.

Поступила в редакцию: 22.11.2016
Принята в печать: 28.11.2016

DOI: 10.21883/FTP.2017.06.44567.8455

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2017, 51:6, 817–822

Реферативные базы данных:

•