Центры дилатации в облученном электронами кремнии

В. Е. Кустов, А. Б. Ройцин, Н. А. Трипачко, В. И. Шаховцов

Институт физики НАН Украины, г. Киев

Аннотация: Показано, что ширина линии ЭПР Fe$^{0}$ в облученном электронами с энергией 4 МэВ монокристаллическом кремнии определяется суперпозицией упругого и электрополевого неоднородных уширений. Проведенный расчет позволил выделить упругое уширение, на основании которого определена дозовая зависимость плотности деформационных зарядов вторичных радиационных дефектов. Приведенные оценки свидетельствуют об аннигиляции подавляющего большинства компонент пар Френкеля. Количество вторичных радиационных дефектов, которые выступают как центры дилатации, зависит от температуры облучения и концентрации кислорода в образцах.

Поступила в редакцию: 04.03.1992
Принята в печать: 27.05.1992