Влияние условий эксперимента на результаты обработки DLTS-спектров методом анализа формы линии

Б. А. Комаров

Белорусская государственная политехническая академия, г. Минск

Аннотация: В рамках подхода к обработке DLTS-спектров методом анализа формы линии рассмотрено влияние выбора $t_{2}/t_{1}$ и $t_{1}$ на поведение линии таких спектров. Отмечено улучшение концентрационной чувствительности и детализации компонент спектра при соответствующем выборе $t_{2}/t_{1}$. Рассмотрены факторы, влияющие на точность определения параметров дефектов при применении подхода анализа формы линии DLTS-спектров. Установлено доминирующее влияние фактора формы линии на точность определения энергии активации и сечения захвата глубоких уровней.

Поступила в редакцию: 06.02.1992
Принята в печать: 02.04.1992