Кинетика СВЧ фотопроводимости в подложках Si с внутренним геттером и бездефектной зоной

А. В. Короткевич, В. А. Никитин, Б. Л. Эйдельман


Аннотация: Представлены экспериментальные результаты и теоретическое обоснование методики определения величины бездефектной зоны в геттерированных подложках бесконтактным неразрушающим способом из сравнения сигналов кинетики СВЧ фотопроводимости после импульсного лазерного возбуждения на длинах волн 1.06 и 0.53 мкм.

Поступила в редакцию: 28.10.1991
Принята в печать: 04.01.1992