Эффективные зеленые светодиоды на карбиде кремния

Ю. А. Водаков, А. А. Вольфсон, Г. В. Зарицкий, Е. Н. Мохов, А. Г. Остроумов, А. Д. Роенков, В. В. Семенов, В. И. Соколов, В. А. Сыралев, В. Е. Удальцов

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: С использованием методики, включающей в себя газофазную сублимационную эпитаксию и ионную имплантацию алюминия, получены на основе карбида кремния политипа $6H$ светодиоды с чисто зеленым излучением (${\lambda_{\max}=530}$ нм). Приводятся электрические и люминесцентные характеристики светодиодов, свидетельствующие об их высокой эффективности. Сила света при рабочем токе 20 мА достигает 45 мкд при полуширине диаграммы направленности $16^{\circ}$. Мощность излучения составляет 5$-$15 мкВт. Светодиоды имеют сравнительно низкую инерционность (${\tau<100}$ нc) и отличаются повышенной стабильностью и эксплуатационной надежностью.

Поступила в редакцию: 06.08.1991
Принята в печать: 09.08.1991