О пассивации электрически активных центров в полупроводниках нейтральным атомарным водородом

Н. С. Рытова


Аннотация: Методом химических реакций получена система уравнений, описывающих кинетику пассивации доноров и акцепторов нейтральным атомарным водородом с учетом участия в реакциях пассивации свободных электронов и дырок. Вычислена степень пассивации, которая на начальной стадии кинетики одинакова для всех центров в материале любого типа, а в равновесии тем выше, чем больше энергия связи водородного комплекса и глубина залегания пассивируемого уровня, и становится резко асимметричной в примесном материале (для легирующей примеси она выше, чем для компенсирующей). Результаты расчета сопоставлены с экспериментом.