Получение тонких пленок CdS лазерным распылением

Г. А. Варданян, Р. И. Багдасарян, П. Г. Петросян, Л. Н. Григорян


Аннотация: Методом лазерного распыления получены поликристаллические пленки CdS на сапфировых подложках. Показана возможность увеличения размера зерен в пленках до 6$-$8 мкм в зависимости от технологического режима осаждения. Установлено, что фоточувствительностью пленок CdS можно управлять остаточным давлением кислорода в процессе испарения.