Физика и техника полупроводников,
1990, том 24, выпуск 10,страницы 1841–1847(Mi phts4045)
О применимости метода температурной зависимости емкости и активной
проводимости для определения параметров глубоких центров
в перекомпенсированном полупроводнике
Аннотация:
Проведен теоретический анализ
применимости метода температурной зависимости
емкости и активной проводимости для
определения параметров глубоких центров в
перекомпенсированном полупроводнике. Показано, что применимость
метода ограничивается выполнением двух условий. а. Изменение барьерной емкости от низкочастотной
до высокочастотной и изменение емкости диода от высокочастотной
до геометрической емкости пластины происходят в
разных температурных интервалах. б. Температурные зависимости высокочастотной
емкости и емкости области электрической нейтральности диода
пренебрежимо малы по сравнению с температурной
зависимостью сопротивления области электрической нейтральности.
Проведен анализ экспериментальных данных, подтверждающий этот вывод.