Физика и техника полупроводников,
1990, том 24, выпуск 10,страницы 1726–1731(Mi phts4025)
О механизмах образования фотоиндуцированных дефектов в нелегированных
пленках $a$-Si : H
И. П. Звягин, И. А. Курова, Н. В. Мелешко, Н. Н. Ормонт
Аннотация:
Исследована кинетика фотоиндуцированных изменений
фотопроводимости нелегированных отожженных и
предварительно освещенных пленок $a$-Si : H в широком
интервале температур. Обсуждаются механизмы образования
метастабильных оборванных связей. Полученные результаты
свидетельствуют о наличии как мономолекулярного
активационного процесса (для отожженных пленок),
который можно связать с захватом электронов или дырок на
состояния слабых связей Si$-$Si в хвостах соответствующих
зон, так и бимолекулярного безактивационного процесса (для
предварительно освещенных пленок), связанного с захватом
электрона и дырки на состояния одной и той же слабой связи
Si$-$Si.