RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1990, том 24, выпуск 2, страницы 314–317 (Mi phts3722)

Метастабильные состояния в пленках $a$-Si : H, легированных бором

И. А. Курова, Д. А. Мочалова


Аннотация: Исследована кинетика релаксации двух типов метастабильной повышенной проводимости пленок $a$-Si : H, легированных бором, полученных путем быстрого охлаждения пленки и предварительным освещением. Показано, что релаксация различна; это определяется разной природой метастабильных состояний пленки.



© МИАН, 2026