Поведение примеси золота в кремнии при радиационно-термических воздействиях

И. В. Антонова, А. В. Васильев, В. И. Панов, С. С. Шаймеев


Аннотация: Проведено исследование методом DLTS кремния, легированного золотом и облученного быстрыми электронами при повышенных температурах. Показано, что при облучении в температурном интервале $300{-}500^{\circ}$С происходит взаимодействие атомов золота с компонентами пары Френкеля, в результате которого концентрация электрически активной компоненты твердого раствора золота (уровень ${E_{c}-0.54}$ эВ) уменьшается и вводится связанный с золотом дефект с уровнем ${E_{c}-(0.30\pm0.02)}$ эВ. Облучение образцов, содержащих примесные скопления из атомов золота, при температуре $500^{\circ}$С приводит к эффективному выходу атомов золота из скоплений в объем кристалла, что проявляется в замедлении распада электрически активной компоненты твердого раствора золота. Термообработки облученных образцов при ${T\simeq700^{\circ}}$С позволяют полностью восстановить концентрацию электрически активного золота. Дефект с уровнем ${E_{c}-0.30}$ эВ исчезает при отжиге в интервале температур $650{-}750^{\circ}$С.