Об определении поверхностной подвижности зарядов в инверсионном слое резистивно-емкостной МДП структуры с распределенными параметрами

В. Ф. Антюшин, Б. И. Сысоев


Аннотация: Теоретически и экспериментально показано, что поверхностную подвижность носителей заряда в инверсионном слое МДП структуры с электродом из высокоомного материала можно определить, измеряя нормальную к поверхности компоненту тока в резистивно-емкостной цепи с распределенными параметрами. Отличительной особенностью метода является отсутствие жестких ограничений на геометрию электрода используемых структур и режим измерений.