Распад твердого раствора золота в бездислокационном кремнии

Н. Т. Баграев, Л. С. Власенко, Ю. А. Карпов, В. М. Туровский


Аннотация: С помощью оптической поляризации ядер решетки исследованы процессы распада твердого раствора золота в бездислокационном кремнии. Определены концентрации атомов золота, присутствующих в кристалле в виде различных составляющих твердого раствора. Показано, что наиболее термостабильными твердыми растворами являются твердые растворы на основе донорно-акцепторных пар фосфор + золото в узле решетки, которые образуются в области малых концентраций золота в монокристаллах кремния. Определены концентрации различных компонент активной составляющей твердого раствора золота в кремнии: донорных атомов золота (твердый раствор внедрения) и акцепторных атомов золота (твердый раствор замещения).