В. Е. Борисенко, “Образование $n$-слоев в кремнии при бомбардировке ионами кислорода”, Физика и техника полупроводников, 1983, том 17, выпуск 1,страницы 169

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1983, том 17, выпуск 1, страницы 169–170 (Mi phts2128)

Краткие сообщения

Образование $n$-слоев в кремнии при бомбардировке ионами кислорода

В. Е. Борисенко