Исследование лавинного умножения в карбиде кремния с помощью электронного зонда

С. Г. Конников, А. О. Константинов, В. И. Литманович


Аннотация: Рассмотрены особенности методики исследования $p{-}n$-переходов на основе карбида кремния с помощью лавинного умножения тока, индуцированного электронным зондом (ТИЭЗ). Установлено, что эта методика дает практически ту же информацию, что и фотоумножение, сочетая ее с достоинством высокой локальности. Для определения коэффициентов ионизации электронов и дырок предлагается методика экстраполяции, которая применима при большой асимметрии коэффициентов. Применение методики лавинного умножения ТИЭЗ позволяет провести оценку степени однородности структурно совершенных $p{-}n$-переходов, получить количественную информацию о распределении электрического поля в микрообластях приборной структуры, а также визуализировать дефекты, вызывающие преждевременный пробой. Приводятся результаты исследования $p{-}n$-переходов на политипе $6H$ карбида кремния.