Краткие сообщения

Протонно-стимулированная диффузия сурьмы в кремнии

В. В. Козловский, В. Н. Ломасов, Г. М. Гурьянов, А. П. Коварский


УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 22.07.1983
Принята в печать: 05.01.1984