Определение степени компенсации в примесном полупроводнике по измерениям оптического поглощения

В. А. Курбатов, Н. А. Пенин, Н. Н. Соловьев

Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, г. Москва

Аннотация: Измерено пропускание германия, легированного цинком и сурьмой, на длине волны 10.6 мкм при подсветке в собственной полосе поглощения. Показано, что, изменяя интенсивность подсветки или температуру и вызывая таким образом перезарядку примесных центров, можно определить степень компенсации основной примеси. Проведено сопоставление значений степени компенсации, определенных по оптическим измерениям и по измерениям коэффициента Холла. Использование оптических измерений позволяет получить надежные данные при промежуточных значениях величины степени компенсации и, локально определяя степень компенсации, контролировать однородность образца.

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 01.09.1983
Принята в печать: 07.09.1983