RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1985, том 19, выпуск 11, страницы 1918–1928 (Mi phts1465)

Структура пленок аморфного германия

Н. Г. Находкин, А. И. Новосельская, А. Ф. Бардамид


Аннотация: Приведен обзор работ авторов по структуре аморфных пленок германия, исследованных методами просвечивающей электронной микроскопии, малоугловой дифракции электронов, масс-спектрометрии вторичных ионов и расчета функций радиального распределения атомов. Показано, что структура конденсированных пленок $a$-Ge не описывается моделью непрерывной случайной сетки. Установлена связь между типом микроструктуры и параметрами конденсации. На основании обобщения экспериментальных результатов и литературных данных предложен механизм образования столбчатой микроструктуры, который может быть распространен на другие аморфные объекты.



© МИАН, 2026