Аннотация:
Исследовались зависимости электрофизических свойств,
а также периода решетки и плотности ядерно-легированного арсенида
галлия (ЯЛАГ) от флюенса реакторных нейтронов и режима последующей
термообработки. Показано, что облучение арсенида галлия нейтронами с различными
энергетическими спектрами ${\varphi_{\text{т}}/\varphi_{\text{б}}=10}$,
180, 1000, где $\varphi_{\text{т}}$ и $\varphi_{\text{б}}$ — плотности
потока тепловых и быстрых нейтронов, по-разному влияет на свойства
материала. Основной вклад в дефектообразование вносят быстрые нейтроны.
Концентрация компенсирующих акцепторных дефектов, образующихся при облучении
GaAs в тепловой колонне, практически равна концентрации вводимых донорных
примесей. Радиационные дефекты акцепторного типа отжигаются в материале
не полностью даже при ${900\div1000^{\circ}}$С, что является причиной
относительно высокой степени компенсации ЯЛАГ. Полученные экспериментальные результаты по отжигу GaAs, облученного в тепловой
колонне, свидетельствуют о существовании трех стадий отжига в интервале
температур: I — ${100\div300}$, II — ${300\div500}$,
III — ${500\div900^{\circ}}$С.