ФИЗИКА

Моделирование процессов формирования твердотельных структур при воздействии ионных потоков

И. Н. Спресов

Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск

Аннотация: Предложены две модели процесса формирования микро- и наноструктур. Показаны различия между двумя моделями. На основании математических моделей исследованы различные формы и параметры материалов в процессе воздействия.

Ключевые слова: формирование тонкопленочных структур, электромагнитное воздействие плазмы.

УДК: 622.25.34

Поступила в редакцию: 19.04.2011