Аннотация:
Предложена методика расчёта и определены оптимальные параметры обработки твёрдых неметаллических материалов, которые нашли своё применение в электронной технике. Показано, что предложенная методика позволяет оптимизировать обработку таких материалов, как кремний, германий, арсенид галия, кварцевое стекло, природный и синтетический алмаз. При расчёте оптимальных параметров обработки используются значения физико-механических свойств указанных материалов. Полученные результаты могут быть использованы при определении технологических параметров процессов обработки твёрдых хрупких неметаллических материалов в электронике.