ТЕХНИКА

Применение сепарирующих устройств для формирования многокомпонентных покрытий из плазменных потоков вакуумно-дугового разряда

С. Д. Латушкина, И. М. Романов, О. И. Посылкина, И. А. Сечко, В. М. Комаровская

Физико-технический институт НАН Беларуси, Минск

Аннотация: Предложена конструкция двухкатодного магнитоэлектрического фильтра для снижения гетерофазности плазменного потока при формировании многокомпонентных покрытий. Экспериментально исследовано влияние конфигурации магнитных полей сепаратора на пространственное распределение концентрации элементов в многокомпонентном плазменном потоке в вакуумной камере. Показано, что при использовании сепарирующей системы с Y-образным плазмоводом управление соотношением элементов в осаждаемых покрытиях возможно в результате изменения расположения деталей в вакуумной камере и за счет ассиметрии токов дугового разряда на испарителях.

Ключевые слова: вакуумно-дуговая плазма, гетерофазность плазменного потока, многокомпонентные покрытия, системы сепарации.

УДК: 621.793

Поступила в редакцию: 28.02.2025

DOI: 10.54341/20778708_2025_2_63_67