Конференция ФизикА
Прикладная оптика

Исследование предельных энергетических возможностей мощных ультрафиолетовых (370 nm) матричных излучателей: токовый и температурный факторы

А. Е. Черняков^a, А. Л. Закгейм^a, А. Е. Иванов^a, Н. А. Тальнишних^a, Е. И. Шабунина<sup>b

a</sup> НТЦ микроэлектроники РАН, Санкт-Петербург, Россия
^b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Проведено экспериментальное исследование энергетических, спектральных и тепловых характеристик мощного ультрафиолетового ($\lambda$ = 370 nm) матричного светодиодного излучателя CBM-120-UV на основе AlInGaN. В диапазоне токов 1–18 А выполнено картирование (mapping) распределений яркости, температуры, спектра излучения и тока как по площади матрицы, так и отдельных излучающих элементов. Установлено наличие температурных градиентов по площади матрицы при токах выше 9 А, но не приводящее к заметной неравномерности распределения тока между параллельно включенными элементами, несмотря на известную температурную зависимость прямого напряжения. Полученные результаты важны для оценки предельных энергетических возможностей УФ излучателей, оптимизации их конструкции и режимов работы.

Ключевые слова: AlInGaN, светодиод, УФ, матричный излучатель, температурные градиенты, электролюминесценция, ближнее поле излучения.

Поступила в редакцию: 05.05.2025
Исправленный вариант: 28.08.2025
Принята в печать: 24.10.2025

DOI: 10.61011/OS.2025.11.62166.8042-25