Конференция ФизикА
Волоконная и интегральная оптика

Численное моделирование зависимости постоянной распространения оптического излучения в интегрально-оптическом волноводе, нагруженном тонкой пленкой Pd, от концентрации водорода в атмосфере

И. В. Кузнецов^a, А. С. Перин<sup>ab

a</sup> Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Томск, Россия
^b Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук, Томск, Россия

Аннотация: Рассмотрена возможность детектирования водорода с помощью волноводных структур на основе SiN с нанесенной тонкой пленкой Pd на поверхность оболочки. Зависимости постоянной распространения и коэффициента передачи оптической мощности от геометрических параметров конфигурации и концентрации водорода исследованы методами численного моделирования.

Ключевые слова: нитрид кремния, водород, фотонный сенсор.

Поступила в редакцию: 15.05.2025
Исправленный вариант: 02.10.2025
Принята в печать: 24.10.2025

DOI: 10.61011/OS.2025.11.62164.8052-25