Конференция ФизикА
Оптические материалы

Оптические свойства композитной структуры $a$-SiC:H/Ag/$c$-Si

К. В. Пригода, В. О. Большаков, С. А. Грудинкин, А. А. Ермина, Д. П. Марков, Ю. А. Жарова

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Методами спектральной эллипсометрии и рефлектометрии были исследованы оптические свойства композитной структуры $a$-SiC:H/полусферические наночастицы Ag/$c$-Si. Полусферические наночастицы Ag на $c$-Si получены методом химического осаждения из раствора AgNO$_3$+HF с последующей термообработкой на воздухе. Слой $a$-SiC:H ($\sim$50 nm) был нанесен на поверхность полусферических частиц Ag методом плазмохимического газофазного осаждения. В спектре отражения при $s$-поляризации в диапазоне длин волн от 701 до 717 nm наблюдался резкий провал почти до нулевого значения, величина которого зависела от угла падения света на образец.

Ключевые слова: гидрогенизированный аморфный карбид кремния, полусферические наночастицы серебра, спектральная эллипсометрия.

Поступила в редакцию: 04.05.2025
Исправленный вариант: 23.06.2025
Принята в печать: 24.10.2025

DOI: 10.61011/OS.2025.11.62162.8010-25