Оптические сенсоры и преобразователи

Экспериментальная реализация спектрального сенсора коэффициента преломления на основе отражательного интерферометра

В. С. Терентьев, В. А. Симонов

Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия

Аннотация: Экспериментально исследован сенсор в оптической схеме Кречмана, в которой чувствительным элементом является отражательный интерферометр (ОИ) для наклонного падения света. Приведена краткая теория ОИ. Экспериментальный образец применен для измерения коэффициента преломления остаточной атмосферы в вакуумной камере в процессе ее откачки. Высокая добротность резонатора ОИ позволила получить достаточно узкий сигнальный спектральный максимум шириной 1.7 nm. Спектральная чувствительность сенсора составила 1000 nm/RIU, параметр качества равен 529 RIU$^{-1}$. Также продемонстрировано, что может быть достигнута разрешающая способность в 6.5 $\cdot$ 10$^{-8}$ RIU. Сформулированы предложения по дальнейшему усовершенствованию характеристик сенсора.

Ключевые слова: отражательный интерферометр, полное внутреннее отражение, сенсор показателя преломления.

Поступила в редакцию: 07.06.2022
Исправленный вариант: 07.06.2022
Принята в печать: 05.10.2022

DOI: 10.21883/OS.2022.12.54099.3780-22

Реферативные базы данных:

•