Спектроскопия конденсированного состояния

Катодолюминесценция собственных дефектов в пленках La : HfZrO

Е. В. Дементьева^a, М. В. Заморянская^a, В. А. Гриценко<sup>bc

a</sup> Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^b Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
^c Новосибирский государственный технический университет, 630073 Новосибирск, Россия

Аннотация: Нанометровые пленки твердого раствора оксида гафния и циркония, легированные лантаном (La:(HfZr)O$_2$), представляют большой интерес для разработки универсальной памяти, сочетающей неограниченное число циклов перепрограммирования оперативной памяти и энергонезависимость флеш-памяти. Настоящая работа посвящена исследованиям катодолюминесцентных свойств тонких пленок La : HfZrO с различным содержанием лантана. Показано, что в спектрах катодолюминесценции доминируют две полосы излучения с максимумами интенсивности 2.7 и 2.2 eV. Голубая полоса с энергией 2.7 eV обусловлена вакансией кислорода в La : HfZrO. Исследование влияния примеси лантана и отжига образцов в аргоне позволяет предположить, что желтая полоса с максимумом излучения 2.2 eV связана с дивакансией кислорода.

Ключевые слова: люминесценция, оксид гафния, оксид циркония, вакансия кислорода.

Поступила в редакцию: 24.10.2022
Исправленный вариант: 24.10.2022
Принята в печать: 01.11.2022

DOI: 10.21883/OS.2022.12.54088.4244-22

Реферативные базы данных:

•