Спектроскопия конденсированного состояния

Формирование плёнок In$_2$O$_3$ методом магнетронного напыления на подложках Al$_2$O$_3$ (012)

А. А. Тихий^a, Ю. М. Николаенко^b, Е. А. Свиридова^bc, И. В. Жихарев<sup>b

a</sup> Луганский государственный педагогический университет, 91011 Луганск, Луганская Народная Республика
^b Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина, 83114 Донецк, Донецкая Народная Республика
^c Донбасская национальная академия строительства и архитектуры, 286123 Макеевка, Донецкая Народная Республика

Аннотация: Обобщены результаты исследований микроструктуры и оптических характеристик плёнок In$_2$O$_3$, полученных dc-магнетронным методом распыления поликристаллической мишени на монокристаллические сапфировые подложки. Технологические режимы получения плёнок отличались временем напыления, температурой подложки, а также наличием дополнительной термообработки пленочных структур на воздухе. Установлено, что оптический показатель преломления плёнок, осажденных на “холодную” подложку, возрастает в направлении от подложки к внешнему интерфейсу. Термообработка плёнок устраняет неоднородность показателя преломления и приводит к уменьшению ширины запрещённой зоны. Наблюдаемые оптические свойства объясняются неоднородной по толщине микроструктурой плёнок, которая формируется при распылении мишени с относительно невысокой механической прочностью.

Ключевые слова: плёнки In$_2$O$_3$, магнетронное напыление, подложки Al$_2$O$_3$, показатель преломления, ширина запрещенной зоны.

Поступила в редакцию: 06.04.2022
Исправленный вариант: 28.05.2022
Принята в печать: 30.05.2022

DOI: 10.21883/OS.2022.08.52902.3483-22

Реферативные базы данных:

•