Прецизионные оптические измерения и метрология

Гомодинный квадратурный интерферометр перемещений. Эксперимент

Г. Н. Вишняков^ab, В. Л. Минаев^ac, Е. В. Шумский<sup>a

a</sup> Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, 119361 Москва, Россия
^b Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 105005 Москва, Россия
^c НИУ "Высшая школа экономики", 101000 Москва, Россия

Аннотация: Приведены экспериментальные исследования работы макета гомодинного квадратурного интерферометра перемещений. В блоке регистрации гомодинного интерферометра вместо поляризационного светоделителя используются неполяризационный светоделительный кубик и два поляризатора. Это добавило дополнительные степени свободы при юстировке оптических каналов регистрации интерференционных сигналов и позволило достичь необходимый сдвиг фаз между ними 90$^\circ$ с точностью 0.1$^\circ$. В результате этого экспериментально достигнута погрешность измерения перемещения, равная 0.2 nm. Получены обобщенные выражения для квадратурных сигналов в случае произвольных азимутов поляризаторов в трех каналах регистрации интерференционных сигналов. Проведена теоретическая оценка точности измерений перемещения с помощью квадратурного гомодинного интерферометра и получено, что расширенная неопределенность таких измерений не превышает величины 0.3 nm.

Ключевые слова: интерферометр перемещений, гомодинный, квадратурный сигнал, ватт-весы.

Поступила в редакцию: 20.01.2022
Исправленный вариант: 20.01.2022
Принята в печать: 01.02.2022

DOI: 10.21883/OS.2022.07.52731.3157-22

Реферативные базы данных:

•