Оптические материалы

Оптические свойства пленки линейно-цепочечного углерода, нанесенного на стальной образец

Л. А. Акашев^a, А. А. Махнев^b, В. Д. Кочаков^c, А. П. Владимиров^de, А. В. Дружинин<sup>be

a</sup> Институт химии твердого тела УрО РАН, 620108 Екатеринбург, Россия
^b Институт физики металлов им. М.Н. Михеева УрО РАН, 620108 Екатеринбург, Россия
^c Чувашский государственный университет им. И. Н. Ульянова, 428015 Чебоксары, Россия
^d Институт машиноведения УрО РАН, 620219 Екатеринбург, Россия
^e Уральский федеральный университет, 620002 Екатеринбург, Россия

Аннотация: Эллипсометрическим методом Битти получены оптические постоянные пленки линейно-цепочечного углерода (ЛЦУ) в спектральном диапазоне от 248 до 1100 nm (1.13–5.0 eV с шагом 0.1 eV) и определена ее толщина. Пленка ЛЦУ была нанесена на предварительно зеркально полированную поверхность массивного стального образца с использованием технологии импульсной углеродной плазмы с ионным стимулированием. Установлено, что в измеряемом диапазоне спектра показатель преломления пленки изменяется в пределах от 2.35 до 2.73, а величина $k$ изменяется от значения, близкого к нулю, до величины 1.02. Эффективная толщина пленки определена равной $d$ = 92 $\pm$ 2 $\mathring{\mathrm{A}}$. По типу проводимости ЛЦУ-пленка – диэлектрик ($E_g$ = 4.1 eV). Предложен упрощенный метод определения ширины запрещенной зоны наноразмерных полупроводниковых и диэлектрических пленок.

Ключевые слова: эллипсометрия, оптические свойства пленки углерода, линейно-цепочечный углерод, ширина запрещенной зоны.

Поступила в редакцию: 17.08.2021
Исправленный вариант: 24.11.2021
Принята в печать: 15.01.2022

DOI: 10.21883/OS.2022.05.52438.2650-21

Реферативные базы данных:

•