Международная научно-техническая конференция "Сверхбыстрые оптические явления". 4-8 октября 2021 г., Москва
Оптика низкоразмерных структур, мезоструктур и метаматериалов

Исследование параметров прозрачных токопроводящих периодических структур, изготовленных методом лазерной абляции

С. А. Остриков, П. А. Носов, П. А. Михалёв, М. О. Макеев, А. С. Проваторов, А. В. Корольков

Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 105005 Москва, Россия

Аннотация: Приведены результаты исследования прозрачного в широком диапазоне длин волн 550–2000 nm сетчатого электрода с низким электрическим сопротивлением из алюминиевой пленки толщиной 30 $\mu$m на полиимидной подложке толщиной 20 $\mu$m, изготовленного методом лазерной абляции. Метод реализуется при помощи волоконного иттербиевого наносекундного лазера с длиной волны излучения 1064 nm. Полученная структура имеет коэффициент пропускания $>$ 50% в обозначенном диапазоне спектра и электрическое сопротивление $<$ 1.5 $\Omega$/sq.

Ключевые слова: прозрачные электроды, токопроводящие периодические структуры, лазерная абляция, импульсное лазерное излучение, волоконный лазер, лазерная оптика, лазерные технологии.

Поступила в редакцию: 20.12.2021
Исправленный вариант: 20.12.2021
Принята в печать: 30.12.2021

DOI: 10.21883/OS.2022.04.52273.49-21

Реферативные базы данных:

•