Международная научно-техническая конференция "Сверхбыстрые оптические явления". 4-8 октября 2021 г., Москва
Лазерная физика и лазерная оптика

Особенности структурирования и абляции тонких пленок титана фемтосекундными лазерными импульсами

Е. В. Кузьмин, А. В. Клековкин

Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, 119991 Москва, Россия

Аннотация: Проведено исследование процессов структурирования и абляции пленки титана фемтосекундными лазерными импульсами на длинах волн излучения 515 и 1030 nm как в одноимпульсном, так и в многоимпульсном режимах. Определены оптимальные энергетические режимы селективного удаления материала пленки без повреждения подложки, а также условия генерации поверхностных периодических структур. Показана эволюция периодических структур при увеличении числа лазерных импульсов. Прецизионное удаление титана связано с термомеханическими взрывным кипением и соответствующим ему вкладом энергии, обеспечивающим каскадный вид абляционных кратеров.

Ключевые слова: тонкие пленки, фемтосекундные лазерные импульсы, обработка поверхности.

Поступила в редакцию: 20.12.2021
Исправленный вариант: 20.12.2021
Принята в печать: 30.12.2021

DOI: 10.21883/OS.2022.04.52265.66-21

Реферативные базы данных:

•