Аннотация:
Рассмотрена “нуль-методика” обобщенной эллипсометрии с использованием бескомпенсаторной схемы поляризатор–образец–анализатор при падении на анизотропную систему $s$- или $p$-поляризованного света. Приведены аналитические выражения, связывающие измеряемую угловую величину – азимут анализатора в минимуме интенсивности детектируемого излучения - с элементами (2 $\times$ 2) анизотропной матрицы Джонса. Для определения оптико-геометрических параметров исследуемых анизотропных систем предлагается использовать зависимость этой величины от ориентации (азимута) образца. Оценена чувствительность метода. Установлено, что она сравнима с чувствительностью схемы поляризатор–компенсатор–образец–анализатор. Проведен сравнительный анализ данного метода с известным фотометрическим методом обобщенной эллипсометрии в схеме поляризатор–образец–анализатор, основанном на измерении зависимости интенсивности отраженного света от азимута образца при фиксированных положениях поляризатора и анализатора. Для получения одинаковой чувствительности этих двух методов погрешности в одну угловую минуте в предлагаемом методе соответствует относительная погрешность определения энергетического коэффициента отражения 0.05% в фотометрическом методе обобщенной эллипсометрии.
Полный текст:
PDF файл (238 kB)
