Оптические материалы

Комплексное прецизионное измерение оптических характеристик серийных пластин фосфида индия

Л. А. Федюхин^a, Е. А. Колосовский^a, А. В. Горчаков<sup>b

a</sup> Институт физики полупроводников СО РАН, Новосибирск, Россия
^b Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Новосибирск, Россия

Аннотация: Выполнено прецизионное измерение оптических характеристик пластин фосфида индия серийного производства, включая толщины, показатели преломления подложки и переходных слоёв, а также поглощение переходного слоя. Измерения проведены методом инвариантов при длине световой волны 1549.14 nm. Детальный анализ целевой функции обнаружил существование регулярных областей локализации значений целевой функции – карманов. Определена ширина карманов, период, связь с параметрами, определяющими количество минимумов угловых распределений коэффициентов пропускания. Проведен расчёт доверительных интервалов измеряемых значений оптических параметров фосфида индия.

Ключевые слова: классическая оптика, интерферометрия, показатель преломления, интерферометр Фабри–Перо, метод инвариантов.

Поступила в редакцию: 06.06.2024
Исправленный вариант: 27.10.2024
Принята в печать: 18.11.2024

DOI: 10.61011/OS.2024.12.59808.6765-24

Реферативные базы данных:

•